简介
韩国INFINEX集团的ASC5000系列匀胶机（旋涂仪），广泛应用于晶片，光学和平板显示基片的旋涂工艺，其良好的匀胶性和高速平稳的速度使得匀胶厚度从厚至薄都始终保持高度均匀。可以满足企业生产，国家实验室及研发中心的相关应用；ASC系列匀胶机具有准确性，可重复性和稳定性，能提供最好的旋涂匀胶性能。
产品特点
1）台式匀胶机，涂膜厚度范围：100nm~100um；
2）可用于光刻胶(PR)，聚酰亚胺(Polyimide)，金属有机物(Metallo-organics)，搀杂剂(Dopant)，硅薄膜(Silica Film)，以及大多数的有机溶液、水溶液；
3）紧凑型设计，用户编辑、控制、存储、取出涂胶程序，易于操作；
4）提供±1rpm的高精度转速，加速及减速速率基于设定的时间/转速(Ramp Time/RPM value)自动计算；
5）配置7英寸触控屏及智能操作系统，可以实时监控整个匀胶过程，用户通过匀胶机前面板显示屏和按钮进行编辑、控制、存储、取出涂胶程序，并进行实验操作。
技术规格
设备型号 | ASC - 5200 | ASC - 5300 |
基片尺寸 | 最大圆形直径 6" ， 方形100mm | 最大圆形直径8” ~ 直径 12" ，方形200mm |
旋涂速度 | 0~ 6000 rpm ±1rpm | 0~ 6000 rpm ±1rpm |
旋涂加速 | ~ 10,000rpm/sec , max < 5% | ~ 10,000rpm/sec , max < 5% |
外形尺寸 | 950WX 800DX 1650H mm | 1250WX 1100DX 1650H mm |
旋涂马达 | AC 伺服高精准马达 250W | AC伺服高精准马达 350W |
旋涂腔体 | Ø 230 HDPP腔体 & 顶盖 | Ø 450 HDPP腔体 & 顶盖 |
显示 | 7" LCD 触控屏 | 7" LCD 触控屏 |
程序 | PLC, 20 组程序 / 20步设定 | PLC, 20 组程序 / 20步设定 |
选配 | 半自动基板中心固定装置 点胶泵系统 EBR功能/附加热板 | 半自动基板中心固定装置 点胶泵系统 EBR功能/附加热板 |
排气排水 | 排气孔Ø50，废化学品储罐 | 排气孔Ø50，废化学品储罐 |
电源 | 220VAC/110VAC, 60HZ,50HZ 15A | 220VAC/110VAC, 60HZ,50HZ 15A |
