大型抽屉式UV光清洗机BZS2003WF-13C适用中大尺寸基片清洗,如液晶面板,ITO/FTO导电玻璃,晶圆,OLED,LCD,硅片,陶瓷,金属片,聚合物,硅胶等表面清洗,能有效清洗基片的表面有机物,即进行表面改质,从而有效提高基片表面亲水性或附着力,可根据客户要求进行客户化设计。
一.产品配置
整机采用不锈钢304制作,关键元器件采用施耐德,欧姆龙等品牌;
电源:220V;
灯管:根据客户需求定制灯管功率及尺寸,寿命8000小时;
主要工作光谱:185nm+254nm;
有效清洗面积:350*350mm,可客户化定制更大尺寸的清洗面积,如400*400mm,500*500mm,600*600mm,650*650mm等;
清洗时间控制器:0-99.99小时或分钟;
安全防护功能:当清洗腔门打开时,灯管自动熄灭;
照射高度:可定制
UV ON/OFF指示,异常指示/警报;
灯管预热:具灯管预热提示功能,使清洗数据更精准;
加热(选配):可选择加配外置加热平台,温度范围:常温~300摄氏度;
排风功能:自带臭氧排风系统,可分档调节风速,125mm直径出风口,配置风管及紧固件;
二.清洗效果验证
ITO或玻璃片在我们的UV光清洗机照射10分钟后表面接触角前后对比
三.应用领域
■在进行薄膜沉积之前先进行基片清洗。清除浮渣和稳定化处理光刻胶。超高真空度密封。
■清洗硅芯片,透镜,反光镜,太阳能面板,冷轧钢,惯性引导零件和 GaAs芯片
■清洁焊剂,混合电路以及平板LCD显示器
■蚀刻特氟隆,氟橡胶以及其它有机材料
■增强GaAs 和Si氧化物钝化表面
■增强玻璃的除气作用
■基片蓝膜去除
■增强塑料表面的镀膜的粘附性
■基片终测后墨迹清楚
■去除光刻胶
■平板显示器/液晶显示器
■去除光刻机台上的光刻胶残留物
■在电路板封装和打片之前清洗)
■光纤
■增强表面亲水特性
■为生物科学应用做清洗和消毒
■光学透镜
■其它应用