UV紫外光表面清洗机可用于LCD、OLED显示屏生产,及半导体硅晶片、光学玻璃、石英晶体、膜块、磁头、集成电路、敷铜箔层压板、高精度印制电路板以及金属、橡胶、塑料等生产中对各种表面进行光清洗或光改质处理。经清华大学化学系分析中心俄歇电子能谱仪检测,对ITO玻璃基片进行光清洗后,达到了原子清洁度。
对相同的二片ITO玻璃基片,同时进行严格的化学溶液清洗,再把其中一片置于光清洗工作室内进行光清洗,然后把二片基片同时送入扫描俄歇微探针仪中进行分析。图1为ITO玻璃基片光清前后的俄歇能谱分析曲线的对比图。纵坐标为元素能谱能量,横坐标为元素能谱位置,C元素能谱位置为271.5,从能谱图上可知:图1a未经光清洗的ITO玻璃片的俄歇能谱曲线,我们可以看出对应271.5能谱位置上能谱曲线有明显的碳峰,而碳峰是表征碳氢化合物(有机污染物)存在与否的标示;图1b是经光清洗后ITO玻璃的俄歇能谱曲线,此曲线上的碳峰消失了,这表明经过光清洗后,ITO玻璃基片表面上的有机污染物已经清除,达到了原子清洁度。
3.1.2 与上述同一试验,采用接触角测试仪对ITO玻璃样片进行光清洗试验的检测结果
本次接触角测试是在普通工作间进行的,光清洗后的ITO玻璃在空气中会受到二次污染。接触角测试法是一种半定量检测方法。从图2可以看出光清洗后接触角下降了24.23度,表明ITO玻璃表面的洁净度大大提高了。